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风华电容代理商微机电感

作者: 发布时间:2020-09-21 15:24:05点击:40

风华电容代理商传统的微机械电感多采用平面螺旋结构,存在着电感值低、寄生损耗大、占用芯片面积大等缺点。同平面螺旋结构的电感相比,三维结构的螺线管微电感由于采用了立体结构,螺线管型微电感器所产生的磁通是平行于基片平面的,所以高频磁通在基片上产生的涡流损失比磁通垂直于基片的平面线圈结构微电感的要小,底导线与衬底的接触面积较小,寄生电容和寄生电用引起的寄生损耗降低,提高了电够的Q值。为了提高螺线管微电感的性能,本文研究了微电感的集总数电路模型以及其MEMS制作技术,设计并制作了射频螺线管微电感。另外,射频电路需要可调范围大、高Q值的可变电容器,以实现宽频调变和有关电路功能。与传统的变容二极管相比,HNEIBS技术制作的微机械可谓电存没有静态电流,信号损耗较小、Q值较高、调节范围更宽,在射频下具有很小的损耗,从而可以降低电路的损耗,提高电路的优值,可替代片外压控变容:极管 来实现射频压控振高器、通谐滤波器等的单片要成。本文采用AtO,作 为牺牲层,利用螺线管微电感相似的MEMSI艺制作出高性能的可变微机械电容。


MEMS技术为实现无线通信系统的小型化、低功耗、高颊化提供了良好的解决方案。在RF MEMS元件中,电感和电容是重要的元器件,是滤波器、 谐振器的重要组成部分,影响普谐振电路、阻抗匹配网络、放大器、压控振荡器的性能。因此,随着对高频电子器件的需求越来越大,提高和改善MEMS电感和MEMS电容的高频性能已成为国内外学者的研究重点。

针对射频电路对微电感和风华电容代理商的要求,结合日前国内外研制微电感和风华电容代理商的现状,本论文采用MBNS技术。包括UV-LIGA. 干法到蚀、湿法刻地、抛光技术和电健技术等,研制各种高性能的微电感和风华电容代理商。本文主要完成的工作和结论如下所述:螺线管微电感的建模和伤真利用微电感两端口网络模型和等效电路,从Ceaboue电感银计舞公式和。值理论计算公式出发,采用Meat软价进行编程,对继线管做电感进行建模设计,与实验越果相比权,对微电话优化设计上起到理论指导作用,研究和分析「线周结构罗数线面度教线强导体长度。发度和序度等对微电感的性能影响,并进行了优化设计、用HFSS软行对微电感进行了伤真,从实验施是值与理论计算值、仿真值对比可以看出。计算结果、仿真结果与

实仙要曲合得较好因此在今眉雅电感的应用时,可以根据实际度用要求,设计优化推电感的的性他,然后进行实验脸证和制备,从而达到应用的目的。


风华电容代理商考虑和分析了空芯爆线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS找术制作了不同儿何结构和村度的高性能射频继线管微电感,所沙及的MEMS工艺主要包括规射、协胶、光则、电话、干法测性、留法划蚀和抛光等工艺。在制备过程中,解决了以下两个关键制造技术,一是通过合理的施模版设计和双面套则对准标记、多层深度光刻技术,解决了多层提展工艺中的套封问题和电使用的光刻胶模儿,获得了较好的高深宽比光刻胶模具二是采用保层微电铸工艺解决了微电感线圈的烧线和连线,通过在电镀液中施加事加制的手段,实现了离深室比微小尺寸深度言孔的电镀问题。这些微电感采用明线服以减小线面责生电愿,测试结果表明玻璃衬底上的微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值。在6CHz下,微电感Q峰值为38,对应的电感量为1.8inth硅村底上的微电感在较宽的工作额率范围内也具有高Q值,2.3GHz下微电感Q峰值为32.8.对应的电感量为1.79nH. HFSS仿真站果与实验结果大致相符,在2.3GHz下Q峰值为348,对应的电感量分别为1.68nH.(3)可变电容制备和测试



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