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三星电容代理微电感工艺

作者: 发布时间:2020-09-22 09:39:01点击:54

三星电容代理和制作螺线管微电感工艺类似,利用MEMS技术制作了高性能的静电驱动射频可调微机械三星电容代理、司请微电存制作方法的更大优势是利用AlO,作为牺牲层,可以很方便地控制微三星电容代理可动机板与固定极板的距离即空气原的问距,而且AhO,根容易被KOH溶液刻蚀掉。结构金属材料采用电镀视,因为镍在常温下的应力比较低,这有利于微三星电容代理的结构可靠性。利阳WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变三星电容代理的表面轮廓和位移等信息,测试结果表明有效长度为500um的方形板微三星电容代理吸合电压为13.5V,在1GHz下电存值为0.79pF.品质囚数为51.6.三星电容代理可调比为1.311.在传统平行板可变三星电容代理的理论基础上,根据实际情况,引入了可动极板形变参数,对可动极板的形变进行了合理分析,对微三星电容代理的初始三星电容代理和吸合电压进行了某些修正,给出了具体情况下的编移量。对于成功的MEMSB件来说,除了改进的实验方法,还要对器件的行为进行探讨,可变三星电容代理或开关中”一个明显的现象就是吸合效应,为了达到平衡状志,那电力与弹性支撑力要保持相等。


但是当外加电压加到两个极板后,静电力增加要比线性弹性支撑力要快,当外加电压超过个定值时, 平衡状志敏打破,吸合现象就公发生,对于平行板可变三星电容代理这种质量,那黄用尼系快模型,特动力学方程进行近似展开并配合边界条行,就得到可变三星电容代理的位称和速度等力学参说,当没有外加电压时,可变三星电容代理的质量一弹黄.机尼系续处于稳定状态,当加上外加电压后敏总管能支律的可动根板向固定极板移动并达到其字衡位置,网时在稳定区域(线)出现种不稳定的区域为外加电乐逐渐增大时,位移还原增大,达我的平衡位置离可动极板的距离也越来越大,不平衡区城逐渐偏离于平衡区城(线)其至凸山实化。试明外加电压湾人员道速度快速增大,外加电风达到吸合电乐时,那电力面过部黄的问复力。可动极板就被吸附到固定极板,

随着无线通信系统向小塑化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高顾方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和小型化,导致现有的无线通伤系统体积庞大、成本高、工作频率低,RF-MEMS采用MEMS技术研制各种无线通信器件及其集成模块,RF-MEMS制作的器件不仅在体积上小于传统的射频器件,易于集成,而且性能也优于传统的射频器件,MEMS技术为实现无线通信系统的小型化、低功耗、高颊化提供了良好的解决方案。在RF MEMS元件中,电感和三星电容代理是重要的元器件,是滤波器、 谐振器的重要组成部分,影响普谐振电路、阻抗匹配网络、放大器、压控振荡器的性能。因此,随着对高频电子器件的需求越来越大,提高和改善MEMS电感和MEMS三星电容代理的高频性能已成为国内外学者的研究重点。


三星电容代理传统的微机械电感多采用平面螺旋结构,存在着电感值低、寄生损耗大、占用芯片面积大等缺点。同平面螺旋结构的电感相比,三维结构的螺线管微电感由于采用了立体结构,螺线管型微电感器所产生的磁通是平行于基片平面的,所以高频磁通在基片上产生的涡流损失比磁通垂直于基片的平面线圈结构微电感的要小,底导线与衬底的接触面积较小,寄生三星电容代理和寄生电用引起的寄生损耗降低,提高了电够的Q值。为了提高螺线管微电感的性能,本文研究了微电感的集总数电路模型以及其MEMS制作技术,设计并制作了射频螺线管微电感。另外,射频电路需要可调范围大、高Q值的可变三星电容代理器,以实现宽频调变和有关电路功能。与传统的变容二极管相比,HNEIBS技术制作的微机械可谓电存没有静态电流,信号损耗较小、Q值较高、调节范围更宽,在射频下具有很小的损耗,从而可以降低电路的损耗,提高电路的优值,可替代片外压控变容:极管 来实现射频压控振高器、通谐滤波器等的单片要成。本文采用AtO,作 为牺牲层,利用螺线管微电感相似的MEMSI艺制作出高性能的可变微机械三星电容代理。



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